Màquina de litografia Alineador de màscara Màquina de fotogravat
Presentació del producte
La font de llum d'exposició adopta LED UV importats i mòdul de conformació de fonts de llum, amb una calor petita i una bona estabilitat de la font de llum.
L'estructura d'il·luminació invertida té un bon efecte de dissipació de calor i un efecte proper de la font de llum, i la substitució i el manteniment de la làmpada de mercuri són senzills i còmodes. Equipat amb un microscopi de camp dual binocular d'alt augment i una pantalla LCD ampla de 21 polzades, es pot alinear visualment a través de
ocular o pantalla CCD +, amb alta precisió d'alineació, procés intuïtiu i funcionament còmode.
Característiques
Amb funció de processament de fragments
L'anivellament de la pressió de contacte garanteix la repetibilitat a través del sensor
La bretxa d'alineació i la bretxa d'exposició es poden configurar digitalment
Ús d'ordinador incrustat + operació de pantalla tàctil, senzill i còmode, bonic i generós
Tireu la placa cap amunt i cap avall, senzill i còmode
Admet l'exposició de contacte al buit, exposició de contacte dur, exposició de contacte a pressió i exposició de proximitat
Amb funció d'interfície d'impressió nano
Exposició d'una sola capa amb una sola clau, alt grau d'automatització
Aquesta màquina té una bona fiabilitat i una demostració convenient, especialment adequada per a l'ensenyament, la investigació científica i les fàbriques a col·legis i universitats.
Més detalls
Especificació
1. Àrea d'exposició: 110 mm × 110 mm;
2. ★ Longitud d'ona d'exposició: 365 nm;
3. Resolució: ≤ 1m;
4. Precisió d'alineació: 0,8 m;
5.El rang de moviment de la taula d'escaneig del sistema d'alineació ha de complir almenys: Y: 10 mm;
6. Els tubs de llum esquerre i dret del sistema d'alineació es poden moure per separat en direccions X, y i Z, direcció X: ± 5 mm, direcció Y: ± 5 mm i direcció Z: ± 5 mm;
7. Mida de la màscara: 2,5 polzades, 3 polzades, 4 polzades, 5 polzades;
8. Mida de la mostra: fragment, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Adequat per al gruix de la mostra: 0,5-6 mm, i pot suportar peces de mostra de 20 mm com a màxim (personalitzades);
10. Mode d'exposició: sincronització (mode de compte enrere);
11. No uniformitat de la il·luminació: ＜ 2,5%;
12. Microscopi d'alineació CCD de doble camp: lent zoom (1-5 vegades) + objectiu microscopi;
13. La carrera de moviment de la màscara respecte a la mostra ha de complir almenys: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º；
14. ★ Densitat d'energia d'exposició: > 30 MW / cm2,
15. ★ La posició d'alineació i la posició d'exposició funcionen en dues estacions, i el servomotor de dues estacions canvia automàticament;
16. L'anivellament de la pressió de contacte garanteix la repetibilitat mitjançant el sensor;
17. ★ La bretxa d'alineació i la bretxa d'exposició es poden configurar digitalment;
18. ★ Té una interfície d'impressió nano i una interfície de proximitat;
19. ★ Funcionament de la pantalla tàctil;
20. Dimensió total: uns 1400 mm (longitud) 900 mm (amplada) 1500 mm (alçada).
