Màquina de litografia Màquina d'alineació de màscares Màquina de fotogravat
Introducció del producte
La font de llum d'exposició adopta LED UV importats i mòdul de conformació de font de llum, amb poca calor i bona estabilitat de la font de llum.
L'estructura d'il·luminació invertida té un bon efecte de dissipació de calor i un efecte de proximitat de la font de llum, i la substitució i el manteniment de la làmpada de mercuri són senzills i convenients. Equipat amb un microscopi binocular de doble camp d'alta magnificació i una pantalla LCD ampla de 21 polzades, es pot alinear visualment a través de
ocular o pantalla CCD +, amb alta precisió d'alineació, procés intuïtiu i funcionament convenient.
Característiques
Amb funció de processament de fragments
La pressió de contacte de nivellació garanteix la repetibilitat a través del sensor
La bretxa d'alineació i la bretxa d'exposició es poden configurar digitalment
Ús d'ordinador integrat + funcionament de pantalla tàctil, senzill i convenient, bonic i generós
Placa tipus estirament amunt i avall, senzilla i convenient
Suport per a l'exposició al contacte al buit, l'exposició al contacte dur, l'exposició al contacte a pressió i l'exposició a la proximitat
Amb funció d'interfície d'impressió nano
Exposició d'una sola capa amb una sola clau, alt grau d'automatització
Aquesta màquina té una bona fiabilitat i una demostració convenient, especialment adequada per a l'ensenyament, la investigació científica i les fàbriques de les universitats i escoles superiors.
Més detalls
Especificació
1. Àrea d'exposició: 110 mm × 110 mm;
2. ★ Longitud d'ona d'exposició: 365 nm;
3. Resolució: ≤ 1 m;
4. Precisió d'alineació: 0,8 m;
5. El rang de moviment de la taula d'escaneig del sistema d'alineació ha de complir com a mínim: Y: 10 mm;
6. Els tubs de llum esquerre i dret del sistema d'alineació es poden moure per separat en les direccions X, Y i Z, direcció X: ± 5 mm, direcció Y: ± 5 mm i direcció Z: ± 5 mm;
7. Mida de la màscara: 2,5 polzades, 3 polzades, 4 polzades, 5 polzades;
8. Mida de la mostra: fragment, 2", 3", 4";
9. ★ Apte per a gruixos de mostra: 0,5-6 mm, i pot admetre peces de mostra de 20 mm com a màxim (personalitzat);
10. Mode d'exposició: temporització (mode de compte enrere);
11. No uniformitat de la il·luminació: <2,5%;
12. Microscopi d'alineació CCD de doble camp: lent de zoom (1-5 vegades) + lent objectiu del microscopi;
13. El recorregut de la màscara respecte a la mostra ha de ser com a mínim: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º;
14. ★ Densitat d'energia d'exposició: > 30 MW / cm2,
15. ★ La posició d'alineació i la posició d'exposició funcionen en dues estacions i el servomotor de dues estacions canvia automàticament;
16. La pressió de contacte d'anivellament garanteix la repetibilitat a través del sensor;
17. ★ El espai d'alineació i el espai d'exposició es poden configurar digitalment;
18. ★ Té una interfície de nanoimpressió i una interfície de proximitat;
19. ★ Funcionament amb pantalla tàctil;
20. Dimensions totals: aproximadament 1400 mm (llargada), 900 mm (amplada) i 1500 mm (alçada).
