Màquina de màscara de la màquina de litografia
Introducció del producte
La font de llum d’exposició adopta el mòdul de conformació de LED i font de llum importat, amb calor petita i bona estabilitat de la font de llum.
L’estructura d’il·luminació invertida té un bon efecte de dissipació de calor i un efecte tancat de la font de llum, i la substitució i el manteniment de la làmpada de mercuri són senzilles i convenients. Equipat amb microscopi de camp de doble binocular de gran ampliació i LCD de pantalla de 21 polzades d'ample, es pot alinear visualment a través de
Pantalla d'ulls o CCD +, amb alta precisió d'alineació, procés intuïtiu i funcionament convenient.
Funcions
Amb funció de processament de fragments
La pressió de contacte amb anivellament garanteix la repetibilitat mitjançant el sensor
Es pot definir digitalment la bretxa d'alineació i la bretxa d'exposició
Utilitzant el funcionament de la pantalla Touch + Touch Screen, senzill i convenient, bonic i generós
Tireu el tipus cap amunt i cap avall, la placa senzilla i convenient
Suport a l'exposició de contacte al buit, l'exposició de contacte dur, l'exposició al contacte a la pressió i l'exposició a la proximitat
Amb funció de la interfície de Nano Imprint
Exposició a la capa única amb una clau, alt grau d'automatització
Aquesta màquina té una bona fiabilitat i una demostració convenient, especialment adequada per a la docència, la investigació científica i les fàbriques en col·legis i universitats
Més detalls
Especificació
1. Àrea d’exposició: 110mm × 110mm ；
2. ★ Exposició Longitud d’ona: 365nm;
3. Resolució: ≤ 1m;
4. Precisió d’alineació: 0,8 m;
5. El rang de moviment de la taula d’exploració del sistema d’alineació s’ha de complir com a mínim: y: 10mm;
6. Els tubs de llum esquerra i dreta del sistema d’alineació es poden moure per separat en direccions x, y i z, X Direcció: ± 5mm, direcció y: ± 5mm i Z Direcció: ± 5mm;
7. Mida de la màscara: 2,5 polzades, 3 polzades, 4 polzades, 5 polzades;
8. Mida de la mostra: fragment, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Apte per a la mostra de gruix: 0,5-6 mm, i pot suportar peces de mostra de 20 mm com a màxim (personalitzades);
10. Mode d’exposició: sincronització (mode de compte enrere);
11. No uniformitat de la il·luminació: ＜ 2,5%;
12. Microscopi d’alineació CCD de camp doble: lent de zoom (1-5 vegades) + objectiu objectiu del microscopi;
13. El cop de moviment de la màscara respecte a la mostra es reunirà com a mínim: x: 5mm; Y: 5mm; : 6º ；
14. ★ Exposició Densitat d’energia:> 30MW / CM2,
15. ★ La posició d’alineació i la posició d’exposició funcionen en dues estacions i les dues estacions de servo motor commuta automàticament;
16. La pressió de contacte d’anivellar garanteix la repetibilitat mitjançant el sensor;
17. ★ La bretxa d’alineació i la bretxa d’exposició es poden configurar digitalment;
18. ★ Té una interfície d’empremta nano i una interfície de proximitat;
19. ★ Funcionament de la pantalla tàctil;
20. Dimensió general: uns 1400mm (longitud) 900mm (amplada) 1500mm (alçada).
